సెమీకండక్టర్ వేఫర్లు, ప్రెసిషన్ ఆప్టికల్ లెన్స్లు మరియు కోటెడ్ కాంపోనెంట్లపై ఉపరితల గరుకుదనం, స్టెప్ ఎత్తు మరియు పలుచని పొర మందాన్ని పరిశీలించడం ఉత్పత్తి దిగుబడిని నేరుగా నిర్ధారిస్తుంది. సాంప్రదాయ కాంటాక్ట్ ప్రోబ్ స్కానింగ్ సున్నితమైన నమూనాలను సులభంగా గీరుతుంది, అయితే సాధారణ ఆప్టికల్ కొలత పరికరాలు నానో-స్థాయి ఖచ్చితత్వాన్ని అందించలేవు. నాన్-డిస్ట్రక్టివ్ టెస్టింగ్, అత్యధిక నానో ఖచ్చితత్వం మరియు అధిక-ఉత్పత్తి సామర్థ్యం గల భారీ ఉత్పత్తి తనిఖీని ఒకే సమయంలో ఎలా సాధించాలి?
వేవ్లెంగ్త్ OE వారి కొత్త ఇండస్ట్రియల్ వైట్ లైట్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్ డ్యూయల్ ఇంటర్ఫెరోమెట్రీ మెజర్మెంట్ మోడ్లను కలిగి ఉంది. నాన్-కాంటాక్ట్ డిటెక్షన్తో, ఇది ల్యాబొరేటరీ R&D నుండి ఆన్లైన్ ప్రొడక్షన్ QC వరకు పూర్తి వర్క్ఫ్లోను కవర్ చేస్తుంది.
అన్ని ఉపరితల టోపోగ్రఫీ కోసం డ్యూయల్ కోర్ ఇంటర్ఫెరోమెట్రీ మోడ్లు
సింగిల్-మోడ్ కొలత పరికరాల వలె కాకుండా, ఈ సిస్టమ్ VSI (వర్టికల్ స్కానింగ్ ఇంటర్ఫెరోమెట్రీ) మరియు PSI (ఫేజ్-షిఫ్టింగ్ ఇంటర్ఫెరోమెట్రీ) అల్గారిథమ్లను ఏకీకృతం చేస్తుంది, తద్వారా ఒకే యంత్రంతో రెండు ప్రధాన కొలత అవసరాలను తీరుస్తుంది.
| పోలిక అంశం | విఎస్ఐ / సిఎస్ఐ | పిఎస్ఐ |
|---|---|---|
| ప్రధాన వర్తించే ఉపరితలాలు | గరుకు ఉపరితలాలు, మెట్లు, విచ్ఛిన్నమైన & సంక్లిష్టమైన భూభాగాలు | అతి నునుపైన, నిరంతర మరియు అద్దం వంటి ఉపరితలాలు |
| నిలువు ఎత్తు కొలత పరిధి | విస్తృత శ్రేణి; లోతైన గాడులు మరియు ఎత్తైన మెట్లను కొలవగల సామర్థ్యం | పరిమిత పరిధి; విడివిడి పెద్ద అడుగులకు అనువైనది కాదు |
| నిలువు రిజల్యూషన్ | నానోమీటర్ స్థాయి; ఆప్టిమైజ్ చేసిన అల్గోరిథంలతో సబ్-నానోమీటర్ సాధించవచ్చు | అత్యధిక రిజల్యూషన్; సబ్-నానోమీటర్, సబ్-ఆంగ్స్ట్రామ్ స్థాయి వరకు పునరావృతమయ్యే సామర్థ్యం |
| ఉపరితల గరుకుదనానికి సహనం | అధిక | తక్కువ |
| దశ అస్పష్టత | దాదాపు ఏమీ లేదు; సంపూర్ణ ఎత్తు విలువ అవుట్పుట్ అందుబాటులో ఉంది | 2π దశ చుట్టే దోషానికి లోబడి |
| వేగాన్ని కొలవడం | యాక్సియల్ స్కానింగ్ అవసరం, సాపేక్షంగా నెమ్మదిగా ఉంటుంది | సాధారణంగా వేగంగా |
| కంపన నిరోధకత | స్కానింగ్ సమయంలో కంపనానికి గురయ్యే అవకాశం ఉంది | బహుళ-ఫ్రేమ్ దశ మార్పు, కంపనానికి మరింత సున్నితమైనది |
| సాధారణ అనువర్తనాలు | గరుకుదనం, మెట్టు ఎత్తు, సూక్ష్మ నిర్మాణాలు, యంత్రంతో చెక్కిన ఉపరితలాలు | అతి నునుపైన ఉపరితల గరుకుదనం, ఉపరితల ఆకృతి మరియు సమతలత పరీక్ష |
PSI (ఫేజ్-షిఫ్టింగ్ ఇంటర్ఫెరోమెట్రీ): నానో-స్కేల్ సూక్ష్మ ఎత్తు లక్షణాలు మరియు అతి సన్నని పొరలలో ప్రత్యేకత కలిగి, అంతిమ మైక్రోస్కోపిక్ రిజల్యూషన్ను అందిస్తుంది.
సమతల అద్దం
వక్ర దర్పణం (కుంభాకార దర్పణం)
ఫోటోలిథోగ్రాఫిక్ నమూనా నమూనా
VSI వర్టికల్ స్కానింగ్ ఇంటర్ఫెరోమెట్రీ: ఎత్తులో పెద్ద వ్యత్యాసాలు మరియు ఎత్తైన మెట్లు ఉన్న వర్క్పీస్ల కోసం ఆప్టిమైజ్ చేయబడింది; సెగ్మెంటెడ్ స్కానింగ్ లేకుండా పూర్తి కొలత పరిధి అందుబాటులో ఉంటుంది.
అధునాతన ప్యాకేజ్డ్ వేఫర్లపై వృత్తాకార మైక్రో బంప్ శ్రేణి
అధునాతన ప్యాకేజ్డ్ వేఫర్లపై దీర్ఘవృత్తాకార మైక్రో బంప్ శ్రేణి
మైక్రోలెన్స్ శ్రేణి
450–700 nm స్వల్ప-సమగ్రత గల తెల్లని కాంతి మూలంతో జత చేసినప్పుడు, ఇది బహుళ ప్రతిబింబాల నుండి వచ్చే అదనపు కాంతిని సమర్థవంతంగా అణచివేసి, బలమైన వ్యతికరణ నిరోధక పనితీరును అందిస్తుంది. బహుళ-పొర పూతలతో కూడిన, తక్కువ పరావర్తనశీలత గల ఈ ఆప్టికల్ భాగం స్థిరమైన మరియు విలక్షణమైన వ్యతికరణ సంకేతాలను వెలువరించగలదు, తద్వారా ప్రామాణికమైన మరియు విశ్వసనీయమైన కొలత ఫలితాలను అందిస్తుంది.
2. పరిశ్రమలో అగ్రగామి నానో-గ్రేడ్ స్పెసిఫికేషన్లు, గుర్తించదగిన మరియు స్థిరమైన దీర్ఘకాలిక డేటా
ఈ సిస్టమ్, ప్రపంచ ప్రీమియం ప్రమాణాలకు సరిపోయే అత్యున్నత శ్రేణి ప్రధాన పనితీరు పారామితులతో కూడిన, 550 nm కేంద్ర తరంగదైర్ఘ్యం గల LED తెల్లని కాంతి మూలాన్ని ఉపయోగిస్తుంది.
-నిలువు రిజల్యూషన్: ＜1 nm, పునరావృత కొలత లోపం: ＜10 nm, నిజమైన నానోమీటర్ ఖచ్చితత్వం
-గరిష్ట నిలువు కొలత పరిధి: 500 μm, ఎత్తుపల్లాల సూక్ష్మ నిర్మాణాలకు పదేపదే స్థానాన్ని మార్చాల్సిన అవసరం లేదు.
-స్కానింగ్ వేగం: 100 μm/s, ఒకే పూర్తి స్కాన్ 10 సెకన్లలో పూర్తవుతుంది, ఇది కచ్చితత్వం మరియు తనిఖీ సామర్థ్యాన్ని సమతుల్యం చేస్తుంది.
-NIST ట్రేసబుల్ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా, అంతర్నిర్మిత ఆటో-కాలిబ్రేషన్ అల్గోరిథం స్థిరమైన ట్రేసబుల్ బ్యాచ్ డేటాను నిర్ధారిస్తుంది, సెమీకండక్టర్ మరియు ఆప్టికల్ పరిశ్రమల కోసం కఠినమైన QC ప్రమాణాలను పాటిస్తుంది.
| వస్తువు | పరామితి |
| కొలత సామర్థ్యం | పరావర్తన పదార్థాలు మరియు ఆప్టికల్ భాగాల యొక్క 3D ఉపరితల స్థలాకృతి, ఉపరితల గరుకుదనం, మెట్టు ఎత్తు & ఫిల్మ్ మందం |
| డేటా సేకరణ మోడ్ | వర్టికల్ స్కానింగ్ ఇంటర్ఫెరోమెట్రీ (VSI) + ఫేజ్-షిఫ్టింగ్ ఇంటర్ఫెరోమెట్రీ (PSI) |
| క్రమాంకన వ్యవస్థ | NIST ట్రేసబుల్ స్టాండర్డ్ + ఆటోమేటిక్ కాలిబ్రేషన్ అల్గోరిథం |
| నిలువు కొలత పరిధి | 500 μm |
| వీక్షణ క్షేత్రం | 20× ఆబ్జెక్టివ్: 0.87 × 0.65 మిమీ |
| కెమెరా పనితీరు | గరిష్ట రిజల్యూషన్: 2048×2448; ఫ్రేమ్ రేట్: 74 Fps; బిట్ డెప్త్: 12 బిట్ |
| స్కానింగ్ వేగం | 100 μm/s (ప్రెసిషన్ మోడ్) |
| ఆబ్జెక్టివ్ లెన్స్ ఎంపికలు | కాన్ఫిగర్ చేయగల 20x / 50x మాగ్నిఫికేషన్ ఆబ్జెక్టివ్లు |
| సంస్థాపన రూపకల్పన | అంతర్నిర్మిత క్రియాశీల కంపన నిరోధక ప్లాట్ఫారమ్, క్షితిజ సమాంతర మరియు నిలువు మౌంటింగ్ అందుబాటులో ఉంది |
| మొత్తం కొలతలు (పొడవు×వెడల్పు×ఎత్తు) | 120 × 80 × 65 సెం.మీ. |
| నికర బరువు | ≤58 కిలోలు |
3. ల్యాబ్ మరియు ప్రొడక్షన్ లైన్కు అనుకూలమైన పారిశ్రామిక సమీకృత క్యాబినెట్ డిజైన్
భారీస్థాయి తయారీ వర్క్షాప్లు మరియు శాస్త్రీయ పరిశోధనా ప్రయోగశాలలు రెండింటికీ అనువుగా, అనువైన ఇన్స్టాలేషన్ అనుకూలతతో రూపొందించబడింది.
అంతర్నిర్మిత క్రియాశీల కంపన నిరోధక ప్లాట్ఫారమ్: ఫ్యాక్టరీ కంపనం కింద స్థిరమైన కొలత, అదనపు కంపన నిరోధక టేబుల్ అవసరం లేదు.
ద్వంద్వ మౌంటింగ్ నిర్మాణం: క్షితిజ సమాంతర లేదా నిలువు అమరిక, ఆటోమేటెడ్ ఉత్పత్తి లైన్లు మరియు ల్యాబ్ వర్క్స్టేషన్లతో సులభమైన అనుసంధానం.
కాంపాక్ట్ ఆల్-ఇన్-వన్ బాడీ: 120×80×65 సెం.మీ కొలతలతో చిన్న పరిమాణం, బరువు ≤58 కేజీలు, సైట్లో సులభమైన అమరిక.
ఈ పూర్తి వ్యవస్థలో కాంతి మూలం, ఇంటర్ఫెరోమీటర్ ప్రధాన యూనిట్ మరియు నియంత్రణ మాడ్యూల్ ఏకీకృతం చేయబడ్డాయి. అన్ప్యాక్ చేసిన తర్వాత ప్లగ్-అండ్-ప్లే చేయవచ్చు, సంక్లిష్టమైన ఆప్టికల్ మార్గ సర్దుబాటు అవసరం లేదు.
అధిక-ఖచ్చితత్వ తయారీకి విస్తృత అప్లికేషన్ కవరేజ్
సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ: సిలికాన్ వేఫర్లు మరియు మైక్రో-నానో చిప్ల 3D టోపోగ్రఫీ మరియు స్టెప్ హైట్ తనిఖీ.
ప్రెసిషన్ ఆప్టిక్స్: ఆప్టికల్ లెన్సులు, ఆబ్జెక్టివ్లు మరియు కోటెడ్ ఆప్టికల్ ఎలిమెంట్స్ కోసం గరుకుదనం మరియు ఫిల్మ్ మందం పరీక్ష.
కొత్త ఫంక్షనల్ కోటింగ్లు: రిఫ్లెక్టివ్ కోటింగ్లు మరియు ఫంక్షనల్ థిన్ ఫిల్మ్ల ఉపరితల ప్రొఫైల్ మరియు మందం విశ్లేషణ.
శాస్త్రీయ పరిశోధన ప్రయోగశాలలు: మైక్రో-నానో నిర్మాణ లక్షణీకరణ మరియు ఖచ్చితమైన భాగాల స్వరూప పరీక్ష.
ఆప్టికల్ R&Dలో సంవత్సరాల వృత్తిపరమైన అనుభవంతో, వేవ్లెంగ్త్ OE వైట్ లైట్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్ల కోసం అన్ని ప్రధాన ఆప్టికల్ మార్గాలను మరియు కొలత అల్గారిథమ్లను స్వతంత్రంగా అభివృద్ధి చేస్తుంది. కాంతి వనరులు, ఆబ్జెక్టివ్ లెన్స్ల నుండి క్రమాంకన వ్యవస్థల వరకు పూర్తి సాంకేతిక నియంత్రణ ఉంటుంది. డెలివరీకి ముందు ప్రతి యూనిట్ బహుళ-దశల ఖచ్చితమైన క్రమాంకనానికి గురవుతుంది. మేము పూర్తి అమ్మకాల తర్వాత సాంకేతిక మద్దతును అందిస్తాము మరియు కస్టమర్ వర్క్పీస్ పరిమాణం మరియు ఆటోమేటిక్ ప్రొడక్షన్ లైన్ అవసరాల ఆధారంగా ప్రత్యేకమైన కొలత పరిష్కారాలను అనుకూలీకరిస్తాము.
పోస్ట్ సమయం: జూలై-15-2026